九游会j9电子束曝光是微纳米加工的核心技术。为了实现工艺水平从传统的微米量级，进入到亚微米和纳米尺度，构造纳米器件并从纳米尺度研究新型纳米器件和量子现象。此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：

　　根据全球调研，九游会j9能满足上述需求的厂家有德国的Raith以及日本的JEOL、Elionix、Crestec，但日本已禁止出口该类产品到中国，无法进行采购，故只有德国Raith能满足需求且愿意供货。

　　锐时科技（北京）有限公司是厂家Raith在中国的分公司，且是国内唯一销售渠道。因此申请单一来源采购。九游会j9