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北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机单一来源采购公示九游会j9
九游会j9电子束曝光是微纳米加工的核心技术。为了实现工艺水平从传统的微米量级,进入到亚微米和纳米尺度,构造纳米器件并从纳米尺度研究新型纳米器件和量子现象。此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求:
根据全球调研,九游会j9能满足上述需求的厂家有德国的Raith以及日本的JEOL、Elionix、Crestec,但日本已禁止出口该类产品到中国,无法进行采购,故只有德国Raith能满足需求且愿意供货。
锐时科技(北京)有限公司是厂家Raith在中国的分公司,且是国内唯一销售渠道。因此申请单一来源采购。九游会j9